產(chǎn)品簡介

1. 應(yīng)用 
薄膜電晶體液晶顯示器/ 低溫多晶矽薄膜電晶體液晶顯示器/ 有機發(fā)光顯示器/ 半導(dǎo)體
薄膜電晶體液晶顯示器（Thin film transistor liquid crystal display，簡稱為TFT-LCD）
低溫多晶矽（Low Temperature Poly-silicon；簡稱LTPS) 是新一代薄膜電晶體液晶顯示器(TFT-LCD)的製造流程
有機發(fā)光顯示器 （Organic Light Emitting Diode，簡稱OLED），是利用發(fā)光二極體可以自行發(fā)光的特性而不用靠背光板的一種顯示技術(shù)

2. 設(shè)備
1). Process used RF Generator (RF Plasma Generator, RFG)
2). Matching box (Matcher)
3). Clean used RPSC (RPS, Remote Plasma Source)
4). Clean used MF Generator, Reactor

RPS: Remote Plasma Source 遠距電漿產(chǎn)生器
RPSC: Remote Plasma Source Clean 遠距電漿產(chǎn)生器
RFG, RPG: RF Plasma Generator 射頻電漿產(chǎn)生器

3. 品牌
1). NPP (New Power Plasma)
2). MKS
3). DAIHEN
4). AE