產(chǎn)品簡介

1. 應(yīng)用
1). 擴(kuò)散器是CVD製程和氣體製程入口的核心部分。 性能的關(guān)鍵點(diǎn)在於顆粒的沉積均勻性和過程中的氣相均勻性。
2). 上部電極乾式蝕刻機(jī)功能相似。 製造的關(guān)鍵是數(shù)萬孔加工和保持平整度。

2. 材質(zhì)
純鋁6061 + 陽極氧化

3. 規(guī)格
1). LCD液晶顯示器從第3代到第8.6代
2). AKT業(yè)凱、ULVAC優(yōu)貝克