產(chǎn)品簡介

1. 應(yīng)用
PECVD真空機(jī)器人墊，在LCD製程設(shè)備一環(huán) 
電漿輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)

2. 材質(zhì)
S-Si Pad

3. 規(guī)格
1). LCD液晶顯示器從第3代到第8.6代
2). AKT業(yè)凱、ULVAC優(yōu)貝克